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詳細內容:產(chǎn)品特點: 該機型在多弧離子鍍膜機的基礎上配置圓柱靶或平面磁控靶,設備具備離子鍍的高離化率、高沉積速度的特點,同時也具備磁控濺射低溫、穩(wěn)定的優(yōu)點,適合鍍各種復合膜層,,可以做到多復合膜層一次性完成,膜層具有很高的結合力、硬度、耐磨系數(shù),特別適合鐘表、五金刀具、工藝品廠家的IPG、IPS、刀具攙雜、復合膜層的制備。 技術參數(shù): ▲真空室箱體:主要規(guī)格有800*1000mm、1000*1200mm,并可以根據(jù)客戶具體要求設計非標產(chǎn)品 ▲夾具方式:采用公自轉行星式齒輪結構,工件速度在1-15轉/分鐘可調。 ▲控制氣體方式:采用質量流量計控制,進氣穩(wěn)定,反映速度快。 ▲靶:采用整體制造技術,嚴格縝密的磁場設計和磁場布局,濺射刻蝕均勻。 ▲電源:配置有高頻直流電源(20KW、40KW等規(guī)格)、直流脈沖電源(電壓、占空比可調節(jié)),逆變電弧電源,并可根據(jù)實際的情況加裝離子源等輔助設施。 ▲抽氣系統(tǒng):采用國產(chǎn)品牌機械泵、羅茨泵、擴散泵,根據(jù)其真空室大小確定合理型號。也可以根據(jù)客戶的需要配備分子泵或者進口泵等。 ▲抽真空參數(shù):從大氣抽至5*10 ̄3Pa≤15min極限真空度8*10 ̄4Pa控制系統(tǒng)
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